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文章詳情

真空泵選型方法

日期：2025-03-05 10:16

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摘要：

永嘉縣英絡克泵閥制造有限公司

一：選用真空泵時，需要注意下列事項：

1、真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如：真空鍍膜要求110-5mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度至少要510-6mmHg。通常選擇泵的真空度要高于真空設備真空度半個到一個數(shù)量級。

2、正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍，如：擴散泵為10^-3~10^-7mmHg，在這樣寬壓強范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強而變化，其穩(wěn)定的工作壓強范圍為510-4~510-6mmHg。因而，泵的工作點應該選在這個范圍之內(nèi)，而不能讓它在10^-8mmHg下長期工作。又如鈦升華泵可以在10^-2mmHg下工作，但其工作壓強應小于110^-5mmHg為好。

3、真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。

4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。

5、真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時，應該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求。

6、了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆?；覊m，有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備，如冷凝器、除塵器等。

7、真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。

8、真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許，應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。

9、真空泵的價格、運轉(zhuǎn)及維修費用。

水環(huán)式真空泵的選擇

一、泵類型的確定

　　泵的類型主要由工作所需的氣量、真空度或排氣壓力而定。

　　泵工作時，需要注意以下兩個方面：盡可能要求在高效區(qū)內(nèi)，也就是在臨界真空度或臨界排氣壓力的區(qū)域內(nèi)運行。應避免在*大真空度或*大排氣壓力附近運行。在此區(qū)域內(nèi)運行，不僅效率極低，而且工作很不穩(wěn)定，易產(chǎn)生振動和噪音。對于真空度較高的真空泵而言，在此區(qū)域之內(nèi)運行，往往還會發(fā)生汽蝕現(xiàn)象，產(chǎn)生這種現(xiàn)象的明顯標志是泵內(nèi)有噪音和振動。汽蝕會導致泵體、葉輪等零件的損壞，以致泵無法工作。

　　根據(jù)以上原則，當泵所需的真空度或氣體壓力不高時，可優(yōu)先在單級泵中選取。如果真空度或排氣壓力較高，單級泵往往不能滿足，或者，要求泵在較高真空度情況下仍有較大氣量，即要求性能曲線在較高真空度時較平坦，可選用兩級泵。如果真空度要求在－710mmHg以上，可選用水環(huán)－大氣泵或水環(huán)－羅茨真空機組作為抽真空裝置。

二、根據(jù)系統(tǒng)所需的氣量選擇真空泵

　　初步選定了泵的類型之后，對于真空泵，還要根據(jù)系統(tǒng)所需的氣量來選用泵的型號。關(guān)于真空泵的抽速選擇及抽氣時間計算可參照我公司網(wǎng)頁真空計算公式。

　　面對各種型式的水環(huán)式真空泵及壓縮機，我們特將其各自特點收集如下，以利于用戶選型

真空泵一覽表

名稱	型號	抽氣速率 L/s	極限真空Pa	配用功率kW
旋片真空泵	2X(Z)型旋片式真空泵	0.5～70	6′ 10^-2	0.55～5.5
	XD、X單級旋片真空泵	2.8～150	2′ 10^-2	0.37～15
	X型單級旋片真空泵	30～150	6	4～11
往復真空泵	W型往復真空泵	32～300	2000	4～30
往復真空泵	W型往復真空泵	55～600	2000	5.5～45
羅茨真空泵	ZJ型羅茨真空泵	30～5000	5′ 10^-2	0.75～55
羅茨真空泵	ZJ型羅茨真空泵	70～3000	5′ 10^-2	1.1～30
滑閥真空泵	H型滑閥真空泵	8～600	1	1.1～55
	H型滑閥真空泵	70～600	1	7.5～55
	2H型滑閥真空泵	8～150	0.1	4～15
液環(huán)真空泵	2BE1、CBF水環(huán)式真空泵	2～450 m³/min	3.3′ 10³	7.5～710
	2BE1型雙級水環(huán)式真空泵	5～320 m³/min		11～380
	2BV 型水環(huán)式真空泵	0.3～8.3 m³/min		0.81～15
	2SK型雙級水環(huán)式真空泵	0.4～30 m³/min	3.5′ 10³	2.2～55
	S、SK型水環(huán)式真空泵	0.67～25 m³/min	(3.5～4)′ 10³	1.5～55
	SK型水環(huán)式真空泵	0.4～120 m³/min	(8～15)′ 10³	1.1～185
	SZ、SK型水環(huán)式真空泵	1.5～27 m³/min	(5～14)′ 10³	5.5～75
	SK、2YK型水環(huán)式真空泵	5～280 m³/min	10⁴	22～380
	FSK型水環(huán)式真空泵	3～9 m³/min	(5～14)′ 10³	7.5～22
	YL型液環(huán)式真空泵	5～25 m³/min	9′ 10⁴	30～132
真空泵機組	JZJ型羅茨、旋片真空泵機組	30～1200	(1～5)′ 10－2	1.3～26
	JZJ1型羅茨、旋片真空泵機組	70～1200	(5～10)′ 10^－2	4.3～22.5
	JZJS型羅茨、水環(huán)真空泵機組	70～600	25～650	7～39.5
	JZJ1S型羅茨、水環(huán)真空泵機組	150～600	25～650	9.7～24.7
	JZJH型羅茨、滑閥真空泵機組	300～1200	10^－1	11.5～26
	2BW4型水環(huán)真空泵成套機組	10～95 m3/min	10³	45～185

真空表讀數(shù)與真空度(Pa)該如何換算？

我們經(jīng)常接到電話，一些用戶詢問，真空表讀數(shù)所反映的究竟是多少Pa。能不能用直觀的數(shù)字來顯示？

（1）真空表上 “0”表示正一個大氣壓,“-0.1”表示**真空。真空表上的指示值不表示真空度的**值，只表示了真空度的相對值。

真空度的換算；根據(jù)本表的刻度示值范圍，真空度的**值與相對值可用下式換算：

P=1×10⁵（1-δ/0.1） P - 真空度的**值（Pa）
δ- 真空表的刻度示值**值

例一：表的示值為O，則P=1×10⁵（1-O/0.1）=1×10⁵ Pa = 1個大氣壓

例二：表的示值為0.1，則P=1×10⁵（1-0.1/0.1）=0 Pa為**真空。
(**真空是不存在的)

例三：表的示值為0.08，則P=1×10⁵（1-0.08/0.1）= 2×10⁴Pa
本產(chǎn)品的真空度指標值為＜267Pa，表示本產(chǎn)品在267Pa（表面示值約為0.0997，接近于-0.1）時的低真空度狀態(tài)下仍能保證正常工作。產(chǎn)品的真空度主要取決于配套真空泵的性能。

真空度計量單位換算如下：
   0.1Mpa =1×10⁵ Pa = 760mmHg = 1個大氣壓
   1乇 = 1mmHg = 133.33Pa
   2乇 = 0.00026666Mpa ≈267Pa

（2）真空表讀數(shù)可以用直觀的數(shù)字來顯示。但價格比較昂貴，一般適用于科研單位。

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